欧洲杯体育处于关门位置的所述门体与所述启齿相对-开云(中国)Kaiyun·官方网站 - 登录入口
发布日期：2025-06-18 06:52 点击次数：68
金融界2024年12月21日音问欧洲杯体育，国度常识产权局信息浮现，北京朔方华创微电子装备有限公司苦求一项名为“半导体工艺确立的装载腔室”的专利，公开号CN119153355A，苦求日历为2023年6月。
专利节录浮现，本苦求实验例提供了一种半导体工艺确立的装载腔室，其包括：腔体、门体和密封环；所述腔体设有启齿，处于关门位置的所述门体与所述启齿相对，所述密封环位于所述门体与所述启齿的外周之间的裂缝区域，所述密封环包括沿其自己的高度主义相互隔离的尖端和底端，所述密封环内具有第一密封腔，所述第一密封腔沿所述密封环的环绕主义培育，所述第一密封腔的腔内压力可转念，所述尖端与所述底端的间距随所述第一密封腔的腔内压力增大而增大；所述底端培育于所述门体和所述启齿的外周中的一者，所述尖端用于抵接于所述门体和所述启齿的外周中的另一者。
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